- В дополнение к тому, что технология PVD не требует зацикливания, она имеет и другие преимущества, такие как высокая пропускная способность и низкие операционные расходы при обработке солнечных элементов TOPCon.
- Более высокие капитальные затраты и занимаемая площадь являются недостатками технологии.
- Согласно отчету TaiyangNews TOPCon Solar Cell Report 2021, Jietai — единственная компания, которая предлагает коммерческий продукт на основе PVD для TOPCon, в то время как Polar PV и Von Ardenne также работают над продуктами.
Любая технология осаждения, альтернативная LPCVD для приложений TOPCon, не требует дублирования. То же самое и в случае с физическим осаждением из паровой фазы (PVD), по которому идут несколько поставщиков оборудования, а также производители. Технология поддерживает очень высокую пропускную способность, низкие эксплуатационные расходы (по сравнению с LPCVD) и эксплуатационные расходы, но с другой стороны, относительно более высокая занимаемая площадь и капитальные затраты.
Больше, чем PVD: китайская компания Jietai разработала гибридную технологическую платформу под названием POPAID, которая по существу сочетает в себе PVD и плазменное окисление, чтобы устранить недостатки преобладающих технологий осаждения для TOPCon (Источник: Jietai)
Технически подпадает под категорию PVD, базируется в Китае. Цзиетай предпочитает, чтобы его технология называлась POPAID, что является сокращением от «плазменное окисление» и «плазменное легирование на месте». Действительно, технология больше, чем PVD; он сочетает в себе PVD и плазменное оксидирование на одной инструментальной платформе. Jiangsu Jietai Photoelectric Corp LTD (Jietai) работает над поставкой солнечного оборудования уже около десяти лет, с первоначальным акцентом на сухое травление инструменты в основном предназначены для мультикристалл. В 2019 году компания начала работу над своим решением на основе PVD, чтобы устранить недостатки других технологий осаждения, особенно циклического. Инструмент компании выполняет все необходимые шаги для TOPCon — формирование туннельного оксида, осаждение поликремния и легирование на месте.
Компания использует линейный источник высокочастотной плазмы для окисления, который, по словам Цюаньюань Шана, генерального директора Jietai, обеспечивает более высокую производительность, низкий уровень повреждений и более высокую степень контроля. Производительность реакторов зависит от размера пластин; он может обрабатывать 10,000 1 пластин G8,000 в час, снижаясь до 10 1 при обработке пластин M100. «Цель состоит в том, чтобы получить 23 ГВт с помощью двух параллельных линий (машин), именно такой размер мы выбрали для инструмента», — сказал Шанг. Эта пропускная способность соответствует толщине слоя поликремния 1 нм. Как и следовало ожидать, такая система довольно длинная, ее длина составляет 2 м. Инструмент имеет запланированный цикл обслуживания в 2.0 месяц, который компания рассчитывает увеличить до 5 месяцев. Jietai является партнером Jolywood по оборудованию для технологии J-TOPCon XNUMX, основанной на POPAID. На данный момент компания Jietai построила один производственный инструмент и к концу этого года планирует поставить инструменты POPAID мощностью XNUMX ГВт, в основном в Джоливуд. «На этот год все почти распродано», — сказал Шан. Компания наращивает свои производственные мощности, а это означает, что в следующем году она будет выполнять заказы от других.
Полярный фотоэлектрический похоже, внимательно следит за конструкцией реактора Jietai и представила свою встроенную систему вертикального магнетронного напыления PVD на конференции в прошлом году. Инструмент предназначен для обработки носителя с 60 ячейками в конфигурации 6 x 10 с временем цикла от 40 до 50 секунд. Инструмент предназначен для выполнения всех необходимых шагов для процесса TOPCon; нанесение пленки оксида кремния, поверх которой наносится слой легированного поликремния in situ. Даже в этом случае количество этапов обработки значительно сокращается по сравнению с LPCVD. Реакторная установка оснащена камерой низкоэнергетического кислородного плазменного окисления для образования туннельного оксида в среде плазмы чистого газа. Источник ионизации также не требует технического обслуживания. Слой аморфного кремния, нанесенный с использованием вращающихся кремниевых мишеней и легирования на месте, достигается введением легирующего газа.
PVD имеет несколько преимуществ по сравнению с традиционным LPCVD. Прежде всего, по словам Polar PV, это низкая стоимость эксплуатации и низкие эксплуатационные расходы. Эта экономия средств связана с тем, что в этом процессе не используется кварцевая посуда, которая является основным источником затрат для процесса LPCVD. Кроме того, поскольку цикл является односторонним процессом, он становится менее проблемой, что еще больше способствует экономии средств. Инструмент PVD от Polar PV поддерживает пропускную способность до 10,000 XNUMX пластин в час.
Потребление энергии является еще одним важным средством снижения затрат там, где PVD просвечивает. Polar PV подчеркивает, что PVD использует 77% энергии для покрытия и 16% для нагрева. Напротив, в случае ССЗ эти цифры составляют 34% и 45% соответственно. Это означает, что использование энергии при PVD намного лучше, чем при CVD, т. е. она используется там, где это важнее.
PVD также имеет высокие оценки с точки зрения технологических расходных материалов. В нем используются кремниевые мишени, которые намного дешевле, чем силан, используемый в качестве прекурсора в LPCVD. С другой стороны, PVD имеет высокие капитальные затраты и большую площадь.
фон Арденн, имея несколько десятилетий опыта в строительстве реакторов PVD, также занимается разработкой фотоэлектрического решения TOPCon на основе этой технологии. Решение немецкой компании для пассивированных контактов основано на напылении аморфного кремния на оксид кремния — все еще находится в стадии разработки, но, тем не менее, дает обнадеживающие первые результаты. Когда все будет готово, Von Ardenne планирует внедрить процесс на своей высокопроизводительной платформе инструментов PVD, которая в настоящее время способна обрабатывать более 10,000 XNUMX пластин в час.
Поскольку сегодня рабочей лошадкой солнечной промышленности по-прежнему являются элементы PERC, 22 марта 2022 года TaiyangNews организует виртуальную конференцию на тему «Использование элементов PERC до предела возможностей».
Источник из Тайян Новости
